3月14日，“π生科创新动能 发展新质生产力”2024年昆山市祖冲之攻关计划活动举行。活动上，表彰了2023年昆山市祖冲之攻关计划金π、银π、铜π和鼓励奖项目。

银π项目

大尺寸高质量SiC晶体电阻法生长设备

研发及产业化

承担单位

苏州优晶光电科技有限公司

江苏科技大学

      项目研发了电阻法SiC晶体生长设备，自主开发了高精度、高稳定性的设备控制单元，实现了晶体生长过程的可靠性和稳定性；开发了适合大尺寸SiC晶体生长的热场结构，获得了接近平面的晶体生长界面；开发了籽晶粘接设备和工艺，籽晶粘接的良率高于国内同行；开发出与设备相匹配的晶体生长工艺，晶体的各项指标位于国内领先水平；已销售6英寸设备接近500台，销售额9亿元左右，占国内电阻法设备市场90%的份额。