本项目的技术目标是实现一种高精度、高稳定性的显微膜厚仪产品开发，能够在微纳米尺度上精确测量膜层的厚度及其均匀性。具体目标包括：1) 实现膜厚的测量精度达到纳米级，单点测量精度优于10nm。2) 配备运动机构能够对膜厚区域进行全面的面积扫描，确保数据的高度一致性和可重复性。3) 实现膜厚仪产品小规模量产，保证量产的批次产品一致性及质量稳定。