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集成电路晶圆传输双叉臂真空机械手的研制与开发

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发布时间: 2024-04-20 16:46:55 剩余时间: 89天

在调研工作基础上，确定晶圆传输双叉臂真空机械手的技术方案；
研发设计晶圆传输双叉臂真空机械手机械结构并进行仿真分析； 
按照技术参数要求: 0轴重复定位精度：士 0.1°；R1&R2 轴重复定位精度：士0.1mm，优化机械结构。

技术领域	电子信息	需求类型	关键技术研发	有效期至	2024-07-31
合作方式	合作开发	需求来源		所在地区

信息产业部备案系统网址 www.jstec.com.cn

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