江苏省技术产权交易市场

集成电路装备用多轴压电纳米位移平台开发
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发布时间: 2023-08-30 11:03:50 剩余时间: 124天
需求编号
FT5433112798430208
发布者
盐城万创技术转移有限公司
需求状态
待解决
意向投入
¥6,000,000元
联系方式
153xxxx9499 【点击查看】
佣金金额
面议
1、从结构机制中补偿压电电机预载伸缩问题,提升DUV掩模检测成像系统中产率和性能。
2、建立压电陶瓷堆叠在超精密微动台上的控制算法、非线性补偿优化算法及建模方法,实现亚纳米级定位精度。
技术领域
电子信息,软件
需求类型
关键技术研发
有效期至
2024-09-01
合作方式
技术咨询
需求来源
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