循环温度:温度循环是导致大尺寸石英坩埚热疲劳的主要因素之一,循环温度的高低直接影响到坩埚的热疲劳性能。循环次数:大尺寸石英坩埚在温度循环下的热疲劳寿命与循环次数有关。循环次数越多,热疲劳损伤越严重。坩埚形状和尺寸:坩埚的形状和尺寸对热疲劳寿命也有影响。一般来说,形状复杂的坩埚在温度循环下容易出现热疲劳损伤;同时,大尺寸坩埚也容易受到循环温度的影响而出现热疲劳损伤。材料性能:材料的热膨胀系数、热导率、热容量等性能对坩埚的热疲劳寿命也有影响。制备工艺:制备工艺的差异也会影响坩埚的热疲劳寿命例如,坩埚的成型工艺、烧结工艺等都会影响坩埚的热疲劳性能。因此,系统性地研究石英坩埚在温度循环下的热疲劳行为,开发出循环温度、坩埚形状尺寸、材料及制备工艺的协同作用数据库,对于提高其使用寿命和安全性具有重要意义。
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2024-10-24 10:46:46
常州市生产力发展中心
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