一种前驱体时间分隔式的自限制性表面吸附反应制备BiAlO<Sub>3</Sub>薄膜材料的方法，BiAlO<Sub>3</Sub>薄膜材料生长在衬底材料上，所述的BiAlO<Sub>3</Sub>薄膜材料的空间群为R3c，晶格常数为a=7.611？，c=7.942？；采用前驱体时间分隔式的自限制性表面吸附反应得到，所述表面吸附反应特指朗缪尔吸附机制的不可逆的化学吸附反应。通过采用本发明的制备BiAlO<Sub>3</Sub>薄膜材料的方法，可以实现BiAlO<Sub>3</Sub>薄膜生长厚度的精确可控，且BiAlO<Sub>3</Sub>薄膜表面平整度大大优于现有技术。

一种前驱体时间分隔式的自限制性表面吸附反应制备BiAlO<Sub>3</Sub>薄膜材料的方法，BiAlO<Sub>3</Sub>薄膜材料生长在衬底材料上，所述的BiAlO<Sub>3</Sub>薄膜材料的空间群为R3c，晶格常数为a=7.611？，c=7.942？；采用前驱体时间分隔式的自限制性表面吸附反应得到，所述表面吸附反应特指朗缪尔吸附机制的不可逆的化学吸附反应。通过采用本发明的制备BiAlO<Sub>3</Sub>薄膜材料的方法，可以实现BiAlO<Sub>3</Sub>薄膜生长厚度的精确可控，且BiAlO<Sub>3</Sub>薄膜表面平整度大大优于现有技术。