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半导体用超精密运动平台
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半导体用超精密运动平台
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需求类型
产品升级
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需求方信息
南通市通州区生产力促进中心
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152xxxx3908
1.运动过程,温度变化与定位误差补偿算法; 2.双驱双光栅的控制逻辑。
需求类型
产品升级
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长期有效
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