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两者均涉及大尺寸石英坩埚的材料性能优化(如热膨胀系数、材料纯度)及制备工艺改进(如烧结、纯化工艺)。需求均强调通过系统性研究材料与工艺参数协同作用提升产品寿命与可靠性,且均关注高纯度材料对性能的影响。
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两者均围绕石英坩埚的制备工艺改进展开,涉及材料表面处理(如涂层技术、气孔控制)以提升性能。需求均关注通过工艺创新解决杂质污染或热损伤问题,且均需开发配套装备实现规模化生产。
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