用于12寸集成电路装备：（1）8通道的25点测温温差＜0.2℃、（2）30通道的49点测温温差＜0.1℃，温度控制范围：50℃-400℃，控制精度±0.02度，分辨率0.01度。包含两款加热盘与控制系统。