江苏省技术产权交易市场

集成电路光刻工艺区段超高精度加热盘的研制与开发
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发布时间: 2024-02-21 09:57:11 剩余时间: 36天
需求编号
FT5680770666759168
发布者
苏州珀立科技服务有限公司
需求状态
已解决
意向投入
面议
联系方式
138xxxx7567 【点击查看】
佣金金额
面议
用于12寸集成电路装备:(1)8通道的25点测温温差<0.2℃、(2)30通道的49点测温温差<0.1℃,温度控制范围:50℃-400℃,控制精度±0.02度,分辨率0.01度。包含两款加热盘与控制系统。
技术领域
电子信息
需求类型
关键技术研发
有效期至
2024-05-31
合作方式
合作开发
需求来源
所在地区
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