3月14日,“π生科创新动能 发展新质生产力”2024年昆山市祖冲之攻关计划活动举行。活动上,表彰了2023年昆山市祖冲之攻关计划金π、银π、铜π和鼓励奖项目。
银π项目
大尺寸高质量SiC晶体电阻法生长设备
研发及产业化
承担单位
苏州优晶光电科技有限公司
合作单位
江苏科技大学
项目研发了电阻法SiC晶体生长设备,自主开发了高精度、高稳定性的设备控制单元,实现了晶体生长过程的可靠性和稳定性;开发了适合大尺寸SiC晶体生长的热场结构,获得了接近平面的晶体生长界面;开发了籽晶粘接设备和工艺,籽晶粘接的良率高于国内同行;开发出与设备相匹配的晶体生长工艺,晶体的各项指标位于国内领先水平;已销售6英寸设备接近500台,销售额9亿元左右,占国内电阻法设备市场90%的份额。